Представлені результати експериментів для ємнісних датчиків тиску з гладким контактом (C-P) у режимах дотику та знімання відповідно до ємностної відповіді, чутливості при низьких тисках та їхньої відповідної роздільної здатності. Для досягнення високої чутливості при низьких тисках було розроблено два типи електродів з параболічною та кільцеподібною формами пазу, які були випробувані. Датчики можуть працювати в режимах дотику та знімання, а їх роздільна здатність менше 0,1 Па при середньому тиску 1 кПа. Ці датчики можуть бути потенційною опцією для вимірювання з високою точністю та низькими диференціальними тисками при високому середньому тиску.